解(jie)析(xi)KW-4A勻膠(jiao)機詳(xiang)細(xi)的(de)操作步驟(zhou)原(yuan)理圖操作使用(yong)

旋(xuan)塗是(shi)壹種(zhong)用於(yu)將均勻薄(bo)膜(mo)沈(chen)積到(dao)平坦基材(cai)上(shang)的(de)程(cheng)序(xu)。通常(chang)在基材(cai)中(zhong)心(xin)塗上少量(liang)塗層材(cai)料(liao)，基材(cai)要麽低(di)速(su)旋(xuan)轉，要麽根本不旋(xuan)轉。然(ran)後使基材(cai)高速旋(xuan)轉，以便(bian)通過離(li)心(xin)力散布(bu)塗層材(cai)料(liao)。 用(yong)於旋(xuan)塗的(de)機器(qi)稱(cheng)為(wei)旋(xuan)塗機，也(ye)叫(jiao)勻(yun)膠(jiao)機。

在(zai)塗覆您(nin)的(de)第壹個薄(bo)膜(mo)之(zhi)前(qian)，壹個成(cheng)功(gong)的(de)結果需(xu)要您(nin)註(zhu)意(yi)以下(xia)幾點(dian)：

操作使用(yong)

• 環(huan)境(jing)條(tiao)件，包(bao)括(kuo)溫(wen)度(du)、濕(shi)度(du)、空(kong)氣中(zhong)的(de)顆(ke)粒(li)物等。

• 您(nin)的(de)耗(hao)材(cai)質量(liang)——您(nin)的(de)化學(xue)成(cheng)分(fen)是(shi)否(fou)新鮮(xian)？

• 基材(cai)和設備的(de)清(qing)潔度(du)。從(cong)受汙染(ran)的(de)基材(cai)開(kai)始(shi)會(hui)在(zai)開(kai)始(shi)之(zhi)前(qian)破壞您(nin)的(de)過程(cheng)

、正確居(ju)中(zhong)的(de)基板(ban)

在(zai)旋(xuan)塗機上(shang)將(jiang)基材(cai)準確居(ju)中(zhong)可實(shi)現(xian)壹致(zhi)的(de)塗層。不規則(ze)的(de)形狀(zhuang)需(xu)要以眼睛為(wei)中(zhong)心(xin)。方形和矩形基板(ban)受(shou)益於嵌入(ru)式(shi)卡(ka)盤(pan)，該(gai)卡盤(pan)自動(dong)使基板(ban)居(ju)中(zhong)並(bing)減少旋(xuan)塗期(qi)間的(de)邊(bian)緣(yuan)積聚(ju)。

2、靜(jing)態(tai)點膠(jiao)

大(da)多數人(ren)開(kai)始(shi)使(shi)用(yong)靜態(tai)分配(pei)方法進行(xing)旋(xuan)塗。這是(shi)開(kai)始(shi)旋(xuan)塗的(de)簡單方法，需(xu)要您(nin)將(jiang)化學(xue)品(pin)分配到(dao)固定(ding)的(de)基材(cai)上(shang)。

3、註(zhu)入(ru)妳(ni)的(de)塗布(bu)樣(yang)品(pin)

使用移(yi)液(ye)器(qi)或(huo)註(zhu)射器(qi)穿(chuan)過旋(xuan)塗機蓋上的(de)孔(kong)，將(jiang)平(ping)穩的(de)化學(xue)物質流(liu)分配(pei)到基板(ban)的(de)中(zhong)心(xin)。壹般來(lai)說(shuo)，材(cai)料(liao)應該(gai)被分(fen)配(pei)，直(zhi)到它覆蓋基材(cai)直(zhi)徑(jing)的(de)50%

4、開(kai)始(shi)旋(xuan)轉

壹旦(dan)分(fen)配(pei)了(le)正確數量(liang)的(de)材(cai)料(liao)，就開(kai)始(shi)塗層程序(xu)。汶(wen)顥(hao)勻膠(jiao)機在(zai)旋(xuan)塗配方的(de)每(mei)壹步(bu)都可(ke)以編(bian)程，以(yi)提(ti)高速度(du)和加速(su)度(du)。

5、擴(kuo)散

您(nin)的(de)旋(xuan)塗機應進(jin)行(xing)編程(cheng)，以允許中(zhong)間步驟(zhou)將基材(cai)加速(su)到(dao)中(zhong)等速(su)度(du)，並(bing)允許化學(xue)物質在(zai)表(biao)面上順利擴散。

6、多(duo)余的(de)材(cai)料(liao)被(bei)丟棄

當(dang)材(cai)料(liao)到(dao)達(da)基板(ban)邊(bian)緣時(shi)，進壹步(bu)的(de)加速(su)步(bu)驟將從(cong)晶圓(yuan)上鑄(zhu)造(zao)出(chu)多(duo)余的(de)材(cai)料(liao)。汶(wen)顥(hao)旋(xuan)塗機的(de)工(gong)藝(yi)室(shi)旨在防(fang)止(zhi)多余的(de)材(cai)料(liao)濺(jian)回基板(ban)上(shang)。

7、加速(su)到(dao)最終旋(xuan)轉速度(du)

最(zui)後壹步(bu)需(xu)要您(nin)的(de)旋(xuan)塗機快(kuai)速(su)加速(su)到(dao)產生(sheng)正確厚度(du)塗層所需(xu)的(de)最(zui)終旋(xuan)轉速度(du)。

8、溶(rong)劑蒸(zheng)發(fa)

在最(zui)終旋(xuan)轉速度(du)下(xia)，溶(rong)劑將從(cong)塗層中(zhong)蒸(zheng)發(fa)。控(kong)制旋(xuan)塗機上(shang)的(de)排(pai)氣(qi)量(liang)將使您(nin)能夠調整(zheng)工藝(yi)室(shi)中(zhong)溶劑蒸(zheng)氣的(de)濃(nong)度(du)。

9、邊(bian)膠(jiao)

旋(xuan)塗工藝會在基板(ban)邊(bian)緣留(liu)下堆積的(de)材(cai)料(liao)。