北(bei)京(jing)恒(heng)奧德儀器(qi)儀(yi)表有(you)限(xian)公(gong)司
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HAD-DC300新(xin)款(kuan)真空鍍(du)膜(mo)機(ji)使(shi)用(yong)步驟
需(xu)要(yao)鍍(du)膜(mo)的(de)被(bei)稱為基片(pian),鍍(du)的(de)材(cai)料被稱為靶(ba)材(cai)。 基片(pian)與(yu)靶(ba)材(cai)同在真空腔(qiang)中(zhong)。
蒸發鍍(du)膜(mo)般(ban)是(shi)加(jia)熱(re)靶材(cai)使(shi)表面組分(fen)以(yi)原子團或離子(zi)形(xing)式被蒸發出來(lai)。並(bing)且(qie)沈(chen)降在基片(pian)表面,通過成膜過程(散(san)點(dian)-島(dao)狀(zhuang)結構(gou)-迷走(zou)結構(gou)-層(ceng)狀生長(chang))形(xing)成薄膜。 對(dui)於(yu)濺射類鍍(du)膜(mo),可(ke)以(yi)簡單理(li)解為(wei)利用(yong)電(dian)子(zi)或能(neng)激光轟擊靶(ba)材(cai),並使(shi)表面組分(fen)以(yi)原子團或離子(zi)形(xing)式被濺射出(chu)來,並(bing)且(qie)終(zhong)沈積(ji)在基片(pian)表面,經歷(li)成膜過程,終(zhong)形(xing)成薄膜
使(shi)用(yong)步驟
電(dian)控櫃操作
1. 開(kai)水(shui)泵、氣(qi)源。
2. 開(kai)總電(dian)源(yuan)。
3. 開(kai)維持(chi)泵(beng)、真空計(ji)電(dian)源(yuan),真空計(ji)檔位(wei)置(zhi)V1位(wei)置(zhi),等待(dai)其(qi)值小(xiao)於(yu)10後,再(zai)入(ru)下步操(cao)作(zuo)。約(yue)需5分(fen)鐘(zhong)。
4. 開(kai)機械泵(beng)、預(yu)抽(chou),開(kai)渦輪(lun)分(fen)子(zi)泵電(dian)源(yuan)、並(bing)啟(qi)動,真空計(ji)開(kai)關換(huan)到V2位(wei)置(zhi),抽到小(xiao)於(yu)2為(wei)止,約(yue)需20分(fen)鐘(zhong)。
5. 觀(guan)察(cha)渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵讀數(shu)到達250以(yi)後,關(guan)預(yu)抽(chou),開(kai)前(qian)泵(beng)和(he)真空閥繼續抽(chou)真空,抽(chou)真空到達定程(cheng)度後才(cai)能(neng)開(kai)右(you)邊的(de)真空表頭(tou),觀(guan)察(cha)真空度。真空到達2×10-3以(yi)後才(cai)能(neng)打(da)開(kai)電(dian)子(zi)槍電(dian)源(yuan)。
操(cao)作(zuo)
1. 總(zong)電(dian)源(yuan)。
2. 同(tong)時開(kai)電(dian)子(zi)槍控制(zhi)Ⅰ和(he)電(dian)子(zi)槍控制(zhi)Ⅱ電(dian)源(yuan):按(an)電(dian)子(zi)槍控制(zhi)Ⅰ電(dian)源(yuan)、延(yan)時開(kai)關,延(yan)時、電(dian)源(yuan)及保護燈亮(liang),三分(fen)鐘(zhong)後延(yan)時及保護燈滅(mie),若(ruo)後門(men)未關(guan)好或水(shui)流(liu)繼電(dian)器(qi)有(you)故(gu)障(zhang),保護燈會(hui)常(chang)亮。
3. 開(kai)壓,壓會(hui)達到10KV以(yi)上(shang),調(tiao)節(jie)束(shu)流(liu)可(ke)到200mA左(zuo)右(you),簾柵為20V/100mA,燈絲(si)電(dian)流(liu)1.2A,偏(pian)轉電(dian)流(liu)在1~1.7之(zhi)間(jian)擺(bai)動(dong)。
關(guan)機(ji)順(shun)序(xu)
1. 關(guan)真空表頭(tou)、關分(fen)子(zi)泵。
2. 待(dai)分(fen)子(zi)泵顯示到50時,依(yi)次(ci)關閥、前(qian)、機(ji)械泵(beng),這(zhe)期間(jian)約(yue)需40分(fen)鐘(zhong)。
3. 到50以(yi)下時,再(zai)關維(wei)持(chi)泵(beng)。
適(shi)用(yong)範圍(wei)
1.建(jian)築五(wu)金:衛(wei)浴(yu)五(wu)金(如(ru)水(shui)龍頭(tou)).門(men)鎖(suo).門(men)拉(la)手.衛(wei)浴(yu)、五(wu)金合葉、家具等。
2.制(zhi)表業:可(ke)用(yong)於(yu)表殼(ke).表帶的鍍(du)膜(mo)、水(shui)晶(jing)制(zhi)品。
3.其(qi)它小(xiao)五(wu)金:皮革五(wu)金.不(bu)銹鋼(gang)餐具.眼(yan)鏡(jing)框、刀(dao)具、模(mo)具等.
4.大型件(jian):汽(qi)車(che)輪(lun)轂(gu)、不(bu)銹鋼(gang)板(ban).招(zhao).雕塑(su)等。
5、不(bu)銹鋼(gang)管(guan)和(he)板(ban)(各(ge)種(zhong)類型(xing)表面)
6、家(jia)具、燈具、賓館用(yong)具。
7、鎖(suo)具、拉(la)手、衛浴五(wu)金、爾夫頭(tou)、不(bu)銹鋼(gang)餐具、器(qi)皿(min)等五(wu)金制(zhi)品鍍(du)硬裝飾膜(mo)。
8、手表、表帶、眼鏡(jing)、飾等裝飾品鍍(du)耐磨裝飾(金銀)納(na)米(mi)膜(mo)和(he)納(na)米(mi)膜(mo)和(he)納(na)米(mi)疊(die)層(ceng)膜
